液體在一定溫度范圍，下降壓力至該溫度范圍汽化壓力時，液體便產生填滿氣體的的汽泡，這就是耐腐蝕泵產生汽蝕的主要原因，從液體中分解出來的空氣或其它汽泡，對汽蝕的影響蒸汽泡不同。汽蝕過程中產生的汽泡，游動到高壓處時，其體積減小直至破滅。這類是因為壓力升高而引起的汽泡消失在液體中的狀況被稱作汽泡的覆滅。

實踐經驗證明，汽蝕腐蝕破壞位置，便是汽泡消失的區域，所以常常在葉輪出口處和壓水室進口的位置看到破壞跡象。但是不要忘記汽蝕的發源地在葉輪進口的處。因為正常情況下耐腐蝕化工泵的葉輪進口的是壓力低的地方。因為這個區域液體的壓力相當于或低于在該溫度下的液體的汽化壓力，便會有蒸汽及溶解在液體的氣體從液體中大量的溢出，產生很多蒸汽與氣體混合的小氣泡。當含有較多的小氣泡的液體向前經葉輪內的高壓區時，氣泡周邊的高壓液體導致氣泡驟然地縮小直至裂開。在氣泡凝結裂開的過程中，液體質點以非常高的速度補充空穴，在此瞬間產生非常強烈水擊作用，并且以非常高的沖擊頻次擊打金屬表層，沖擊應力可以達到幾百至幾千個大氣壓，沖擊頻次可以達到每秒幾萬次，情況嚴重的時候會將壁厚穿透。在耐腐蝕化工泵中產生氣泡和氣泡破裂使過流部件遭受破壞過程便是化工泵當中的汽蝕過程。